Камаев, Г. Н.; Ефремов, М. Д.; Антоненко, А. Х.; Володин, В. А.; Аржанникова, С. А.; Марин, Д. В.; Гисматулин, А. А.
(Новосибирский государственный университет, 2011)
Созданы многослойные нанопериодические структуры (МНС) с чередующимися сверхтонкими слоями SiO2и аморфного кремния(α-Si:H) и исследованы их свойства. Структуры были получены путем многократного повторения циклов осаждения ...