Представлены экспериментальные результаты исследования возможностей дальнейшего повышения чувствительности неохлаждаемых микроболометров в терагерцовом диапазоне путем использования дополнительного тонкого металлического поглощающего слоя, наносимого на мембрану микроболометра. Экспериментально показано, что указанная модификация конструкции микроболометра приводит к повышению его чувствительности в несколько раз. Обнаружена сильная зависимость чувствительности микроболометров от угла поляризации терагерцового излучения. Показано, что чувствительность микроболометров в терагерцовом диапазоне обусловлена поглощением излучения в узких металлических шинах, идущих по ножкам микроболометров, и в полосках, выполняющих роль омического контакта к термочувствительному слою.
This article presents the results of some experiments on the further improvement in the sensitivity ofuncooled micro bolometers in the terahertz range via depositing anadditional thin metallic absorbing layer on a microbolometer membrane. The experiments have shown the mentioned modification of the microbolometer design increase itssensitivity several times. A strong dependence of the microbolometer sensitivity on the angle of polarization of terahertz radiation has been revealed. It has been shown that the microbolometer responsivity in the terahertz range is causedby the absorption of radiation in the narrow metallic bus going along the microbolometer legs as well as in the strips acting as an ohmic contact with the thermally sensitive layer.
