Произведена модернизация экспериментального комплекса ЛЭМПУС-1. Выполнены экспериментальные исследования формирования кластерных пучков аргона для создания технологического процесса ионно-кластерной модификации материалов. Получены кластерные пучки с интенсивностью до5 • 1014кластеров/см2• с при среднем размере кластеров1 300. Найдены оптимальные условия формирования кластерного молекулярного пучка.
Modernization of experimental complex LEMPUS-1 was done. Experimental investigations of argon cluster beams formation for ion-cluster surface modification technology were performed. Intensity of cluster beams up to 5*1014 clusters per cm2 per sec with average cluster size about 1300 was obtained. It was found the optimal conditions for cluster beam formation.
